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■ 2D線光譜共焦傳感器，

光斑尺寸：(1~10) μm * (1~19) mm

X方向分辨率：1μm，

Z軸重復(fù)精度：0.1μm

采樣頻率：3.5KHz

■ 重復(fù)精度（3σ）：±0.3μm

■ 高精度大理石三軸測量運動平臺。

■ 可同時輸出2D圖/3D圖/ 灰度值/厚度值。

應(yīng)用場景

■ 尺寸/形貌/斷層/孔隙/裂紋檢測。

■ 密封釘焊接缺陷檢測，極耳焊印檢測。

■ 涂布邊緣削薄區(qū)輪廓檢測、厚度全檢。

■ 半導(dǎo)體晶圓形貌檢測。

密封釘焊接缺陷檢測

削薄區(qū)輪廓與厚度全檢